อุปกรณ์ทำให้เป็นโลหะสูญญากาศ

การเคลือบ PVD ปลอดภัยหรือไม่?

กระบวนการสะสมไอทางกายภาพเป็นเทคนิคที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมหรือ "การชุบ" ซึ่งช่วยลดปริมาณสารพิษที่ต้องใช้ จัดการ และกำจัดอย่างมากเมื่อเทียบกับกระบวนการ "เปียก" อื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับสารตั้งต้นของของไหลและปฏิกิริยาเคมีที่ใช้เพื่อให้ได้ผลลัพธ์เดียวกัน . เนื่องจากสามารถผลิตสารเคลือบที่บริสุทธิ์ สะอาดและทนทานอย่างยิ่ง การสะสมไอทางกายภาพจึงเป็นเทคโนโลยีทางเลือกสำหรับอุตสาหกรรมรากฟันเทียมทางศัลยกรรมและทางการแพทย์

คุณรู้หรือไม่ว่าเครื่องเคลือบคืออะไร? ส่วนใหญ่หมายถึงประเภทของการเคลือบที่ต้องดำเนินการภายใต้สุญญากาศระดับสูง รวมถึงหลายประเภทรวมถึงการระเหยไอออนด้วยสุญญากาศ แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง, สารเคลือบลำแสงโมเลกุล MBE, เลเซอร์ PLD การสะสมสปัตเตอร์และอื่น ๆ อีกมากมาย

ระบบสูญญากาศประกอบด้วยปั๊มเชิงกล ปั๊มแช่แข็ง วาล์วหยาบ วาล์วปลายท่อ วาล์วประตู และมาตรวัดสุญญากาศสำหรับการตรวจจับสุญญากาศ ในระหว่างการสปัตเตอร์แมกนีตรอน อิทธิพลของไนโตรเจน ออกซิเจน และไอน้ำในกระบวนการควรลดลง ดังนั้นระดับสุญญากาศจึงจำเป็นต้องต่ำกว่า 0.13 mPa ~ 4 Pa ​​โดยทั่วไปแล้วจะใช้ปั๊มแบบแห้งและปั๊มอุณหภูมิแบบแห้ง ปั๊มแห้งใช้สำหรับปั๊มสุญญากาศต่ำ เมื่อเทียบกับปั๊มถ่ายน้ำมันเครื่องแบบเดิม มันสามารถป้องกันน้ำมันและก๊าซในปั๊มน้ำมันไม่ให้เข้าไปในห้องสุญญากาศ ปนเปื้อนพื้นผิว และลดแรงยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับพื้นผิว โดยปกติ หลังจากที่ปั๊มแบบแห้งถูกปั๊มต่ำกว่า 6.5 Pa วาล์วประตูจะเปิดขึ้น และปั๊มไครโอเจนิกส์จะใช้ปั๊มสุญญากาศสูง ปั๊มไครโอเจนิกส์มีความเร็วในการสูบน้ำสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งความสามารถในการขจัดไอน้ำมีความแข็งแรงมาก

ระบบเคลือบสปัตเตอร์ประกอบด้วยแหล่งจ่ายไฟ DC วัสดุเป้าหมาย น้ำหล่อเย็น แม่เหล็กถาวร อุปกรณ์ทำความร้อนพื้นผิว แผ่นกั้น ชั้นป้องกัน ฯลฯ นี่คือส่วนหลักของสถานีแมกนีตรอนสปัตเตอร์ แหล่งจ่ายไฟ DC ให้แรงดันไฟฟ้าลบสูง 300-1 000 V และนำไปใช้กับเป้าหมาย เพื่อให้เป้าหมายอยู่ที่แคโทดและพื้นผิวอยู่ที่ขั้วบวก น้ำหล่อเย็นใช้เพื่อทำให้วัสดุเป้าหมายเย็นลงเพื่อป้องกันไม่ให้อุณหภูมิเป้าหมายเพิ่มขึ้นเร็วเกินไปเนื่องจากการสปัตเตอร์ ท่อส่งน้ำหล่อเย็นควรทำจากวัสดุฉนวน เช่น ท่อพลาสติก ไม่ใช่ท่อโลหะ อุปกรณ์ทำความร้อนของพื้นผิวสามารถขจัดสิ่งสกปรก เช่น ไอน้ำบนพื้นผิว ซึ่งสามารถปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับพื้นผิวได้ นอกจากนี้ สำหรับโลหะบางชนิด อุณหภูมิที่เหมาะสมสามารถปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มได้

แอปพลิเคชัน

พารามิเตอร์

บริษัท ของเรา

ป้ายกำกับยอดนิยม: อุปกรณ์ metalizing สูญญากาศ ประเทศจีน ซัพพลายเออร์ ผู้ผลิต โรงงาน กำหนดเอง ซื้อ ราคา ใบเสนอราคา