เครื่องเคลือบ PVD สแตนเลส

อุปกรณ์เคลือบ PVD เป็นอุปกรณ์ที่ละลายและระเหยโลหะอลูมิเนียมที่อุณหภูมิสูงภายใต้สุญญากาศสูง เพื่อให้ไอของอลูมิเนียมเกาะอยู่บนพื้นผิวของฟิล์มพลาสติก เพื่อให้พื้นผิวของฟิล์มพลาสติกมีความมันวาวของโลหะ ในฐานะที่เป็นเทคโนโลยีสำหรับการผลิตฟิล์มเฉพาะ เทคโนโลยีการเคลือบสูญญากาศมีการใช้งานที่หลากหลายทั้งในด้านการผลิตและการใช้งานจริง

ในกระบวนการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอริง ปัญหาของความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม คุณภาพการก่อตัวของฟิล์ม และอัตราการสปัตเตอร์เป็นปัญหาอย่างมากในการผลิตจริง ปัจจัยที่ส่งผลต่อความเสถียรของกระบวนการเหล่านี้ส่วนใหญ่ได้แก่ กำลังสปัตเตอร์ แรงดันแก๊สและความบริสุทธิ์ของอาร์กอน ระยะห่างระหว่างเป้าหมายกับพื้นผิว ความแรงและการกระจายของสนามแม่เหล็ก อุณหภูมิและความสะอาดของพื้นผิว ฯลฯ การรู้และเข้าใจปัจจัยเหล่านี้จะช่วยให้ค้นหาได้อย่างรวดเร็ว สาเหตุและวิธีแก้ปัญหาของความล้มเหลว

1. อิทธิพลของพลังสปัตเตอร์

การเพิ่มกำลังการสปัตเตอร์จะช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มและอัตราการสปัตเตอร์ ด้วยการเพิ่มพลังการสปัตเตอร์ พื้นที่ของพลาสม่าจะเพิ่มขึ้น ดังนั้นความสม่ำเสมอของชั้นฟิล์มจะดีขึ้น การเพิ่มกำลังสามารถปรับปรุงระดับการแตกตัวเป็นไอออนของก๊าซอาร์กอน และเพิ่มจำนวนอะตอมเป้าหมายที่สปัตเตอร์ ซึ่งจะเป็นการเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ อะตอมเป้าหมายเหล่านี้จะสะสมอยู่บนพื้นผิวที่มีพลังงานสูง จึงสามารถปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างอะตอมเป้าหมายกับซับสเตรตและความหนาแน่นของฟิล์มได้ ดังนั้นคุณภาพการขึ้นรูปฟิล์มของฟิล์มบางจึงดีขึ้น อย่างไรก็ตาม พลังงานที่สูงเกินไปจะทำให้อะตอมพุ่งชนพื้นผิวที่มีพลังงานสูงเกินไป และอิเล็กตรอนทุติยภูมิก็จะเพิ่มขึ้นตามไปด้วย ซึ่งจะทำให้อุณหภูมิของพื้นผิวสูงเกินไป และจะลดคุณภาพของฟิล์มและอัตราการสปัตเตอร์ของฟิล์ม

2 ผลของระยะฐานเป้าหมาย

เมื่อระยะเป้าหมายถึงฐานมีขนาดเล็ก คุณภาพของฟิล์มจะสูงและอัตราการสปัตเตอร์สูง แต่ความสม่ำเสมอของชั้นฟิล์มไม่ดี เมื่อระยะห่างระหว่างเป้าหมายกับฐานเพิ่มขึ้น คุณภาพฟิล์มและอัตราการสปัตเตอร์จะลดลง และความสม่ำเสมอของฟิล์มจะดีขึ้น ดังนั้น ระยะห่างระหว่างเป้าหมายถึงฐานที่เหมาะสมจึงเป็นปัจจัยสำคัญที่ช่วยให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการ เนื่องจากอุปกรณ์ได้รับการตั้งค่าด้วยระยะห่างฐานเป้าหมายที่เหมาะสมที่โรงงาน จะไม่กล่าวถึงในที่นี้

แอปพลิเคชัน

พารามิเตอร์

บริษัท ของเรา

ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องเคลือบ pvd สแตนเลส จีน ซัพพลายเออร์ ผู้ผลิต โรงงาน กำหนดเอง ซื้อ ราคา เสนอราคา