เครื่องเคลือบสปิน

การสปัตเตอร์ความถี่กลางยังเป็นการสปัตเตอร์แมกนีตรอนชนิดหนึ่ง

แมกนีตรอนสปัตเตอร์มีหลายประเภท ซึ่งสามารถแบ่งออกเป็น DC แมกนีตรอนสปัตเตอร์ แมกนีตรอนสปัตเตอร์ความถี่วิทยุ และแมกนีตรอนสปัตเตอร์ความถี่กลางตามแหล่งพลังงานที่ใช้ แหล่งจ่ายไฟที่ใช้ใน DC แมกนีตรอนสปัตเตอร์เป็นแหล่งจ่ายไฟ DC แรงดันสูง โดยปกติ 300-1000 V ซึ่งมีอัตราการสปัตเตอร์ที่รวดเร็ว ต้นทุนต่ำ และการบำรุงรักษาราคาถูกในภายหลัง อย่างไรก็ตาม สามารถพ่นได้เฉพาะชิ้นงานที่เป็นโลหะเท่านั้น หากเป้าหมายเป็นฉนวน ในขณะที่การสปัตเตอร์ดำเนินไป เป้าหมายจะสะสมประจุจำนวนมาก ส่งผลให้ไม่สามารถสปัตเตอร์ต่อไปได้ ดังนั้น DC แมกนีตรอนสปัตเตอร์มักจะใช้สำหรับชิ้นงานที่เป็นโลหะ เนื่องจากมีต้นทุนต่ำและโครงสร้างที่เรียบง่าย จึงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม ความถี่ของแหล่งจ่ายไฟ RF ที่ใช้ในการสปัตเตอร์ RF แมกนีตรอนมักจะ 13.56 MHz ซึ่งสามารถแก้ปัญหาที่ DC แมกนีตรอนสปัตเตอร์ไม่สามารถสปัตเตอร์เป้าหมายฉนวน ลักษณะของ RF แมกนีตรอนสปัตเตอร์คือ: ทั้งเป้าหมายที่เป็นฉนวนและเป้าหมายโลหะสามารถสปัตเตอร์ได้ และการยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับพื้นผิวมีความแข็งแรง อย่างไรก็ตาม เนื่องจากโครงสร้างและอุปกรณ์ที่ซับซ้อน แหล่งจ่ายไฟ RF ราคาสูง ค่าบำรุงรักษาสูง การแผ่รังสีไปยังร่างกายมนุษย์ และความต้องการเครือข่ายการจับคู่ภายนอก จึงไม่เหมาะสำหรับการผลิตภาคอุตสาหกรรม มักใช้แมกนีตรอนสปัตเตอริงความถี่ปานกลางสำหรับการสปัตเตอร์ปฏิกิริยาเพื่อเตรียมฟิล์มผสมโลหะ นอกจากอาร์กอนแล้ว ยังมีการเพิ่มก๊าซปฏิกิริยาจำนวนเล็กน้อย เช่น ไนโตรเจน ออกซิเจน ฯลฯ ลงในโพรงเพื่อฝากโมเลกุลของก๊าซปฏิกิริยาเหล่านี้กับอะตอมของวัสดุเป้าหมาย ลงบนพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มผสมโลหะ เนื่องจาก DC แมกนีตรอนสปัตเตอริงใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม โต๊ะแมกนีตรอนสปัตเตอร์จึงรวมถึงระบบสุญญากาศ ระบบเคลือบสปัตเตอร์ แก๊ส และระบบควบคุม

แอปพลิเคชัน

พารามิเตอร์

บริษัท ของเรา

ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องเคลือบแบบหมุน, ประเทศจีน, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, โรงงาน, ปรับแต่ง, ซื้อ, ราคา, ใบเสนอราคา