เครื่องมือตัด เครื่องเคลือบสูญญากาศแข็ง

ผลกระทบของสนามแม่เหล็ก

ความไม่สม่ำเสมอของสนามแม่เหล็กจะทำให้ความสม่ำเสมอของฟิล์มแย่ลง หลักการพื้นฐานของแมกนีตรอนสปัตเตอร์คือการขยายวิถีของอิเล็กตรอนผ่านสนามแม่เหล็ก และชนกับอะตอมของอาร์กอนให้มากที่สุด ในบริเวณที่มีสนามแม่เหล็กแรงสูง จะมีการสร้างไอออน Ar plus และการทิ้งระเบิดมากขึ้น มีอะตอมของวัสดุเป้าหมายมากขึ้น และชั้นฟิล์มบนซับสเตรตจะหนาขึ้น ในทางตรงกันข้าม เมื่อสนามแม่เหล็กอ่อน ชั้นฟิล์มจะบางลง เห็นได้ชัดว่า ความแรงของสนามแม่เหล็กจะส่งผลต่ออัตราการสะสมเช่นกัน อัตราการสะสมจะสูงเมื่อสนามแม่เหล็กแรง และในทางกลับกัน อัตราการสะสมจะต่ำ

อิทธิพลของอุณหภูมิพื้นผิวและความสะอาด

อุณหภูมิพื้นผิวที่เหมาะสมสามารถปรับปรุงความเร็วการยึดเกาะและการสะสมของฟิล์ม ซึ่งต้องสำรวจอุณหภูมิเฉพาะตามเป้าหมายที่แตกต่างกัน ความสะอาดของซับสเตรตมีอิทธิพลอย่างมากต่อการยึดเกาะระหว่างซับสเตรตและฟิล์ม ดังนั้นการทำความสะอาดซับสเตรตและช่องสุญญากาศจึงเป็นสิ่งสำคัญมาก

แอปพลิเคชัน

พารามิเตอร์

บริษัท ของเรา

ป้ายกำกับยอดนิยม: ตัดเครื่องมือเครื่องเคลือบสูญญากาศยาก, จีน, ซัพพลายเออร์, ผู้ผลิต, โรงงาน, ปรับแต่ง, ซื้อ, ราคา, ใบเสนอราคา