คุณสมบัติการออกแบบของอุปกรณ์ชิปเปรียบเทียบแบบหลายชิปของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

1) กระบอกสูบแบบตายตัว 3 การออกแบบรูปทรงกระบอก เส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ โครงสร้างผนังหนา และวิธีการยึดแบบสมมาตรตามเส้นรอบวง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแข็งแรงและความแข็งแกร่งที่เพียงพอ และในขณะเดียวกัน ยังสามารถป้องกันการสปัตเตอร์ที่อุณหภูมิสูงจากการปนเปื้อนชิ้นส่วนภายใน เพื่อให้มั่นใจถึงความยืดหยุ่นของการหมุนของหน้าปัด 15

2) การออกแบบที่นั่งแบริ่งทรงกลม 2 ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการปิดผนึกและแนวตั้งของการติดตั้งที่นั่งแบริ่ง เพิ่มเส้นผ่านศูนย์กลางของเพลา 1 เพิ่มระยะห่างในการติดตั้งระหว่างตลับลูกปืนทั้งสองในที่นั่งแบริ่ง 2 ปรับปรุงความแข็งแรงและความแข็งแกร่งของตัวเอง ให้ความแข็งแกร่งของเพลา 1 และความยืดหยุ่นในการหมุนของแป้นหมุน 15 ระหว่างกระบวนการหมุนสอดคล้องกัน ด้วยความสามารถในการทำซ้ำของตำแหน่ง

3) การโหลดกลไกการขนย้ายโดยการขยายเส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นรองรับ 16 พื้นที่ที่มีประสิทธิภาพของกลไกในทิศทางระนาบจะเพิ่มขึ้นและสามารถติดตั้งฟิล์มเปรียบเทียบที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ (Φ26.5มม.) ซึ่งเอื้ออำนวย เพื่อปรับเส้นทางแสงและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มแสง ชิ้นเปรียบเทียบ 12 ทำจากแก้วชิ้นเดียวเป็นชิ้นเปรียบเทียบ ชิ้นเปรียบเทียบใช้วิธีการติดตั้งการซ้อนสามมิติเชิงพื้นที่ แก้วหลายชิ้นถูกวางซ้อนกันและติดตั้งในถังเก็บชิ้นส่วนเปรียบเทียบ 13 เพื่อให้สามารถวางชิ้นเปรียบเทียบได้ครั้งละ 50-100 ชิ้น ซึ่งช่วยแก้ปัญหาของเครื่องเคลือบได้ การเคลือบฟิล์มออปติกที่แม่นยำหลายชั้น เมื่อเทียบกับปัญหาที่แผ่นจำนวนน้อยส่งผลต่อจำนวนชั้นการเคลือบและความแม่นยำ

4) ความร่วมมือของแผ่นกำหนดตำแหน่ง 6 และข้อต่อออปติคัลแบบสล็อต 17 ผ่านคัปปลิ้งแบบออปติคัลแบบสล็อต รอยแยก 120 องศาทั้งสามบนแผ่นกำหนดตำแหน่งจะถูกสัมผัส และการหมุนของมอเตอร์ถูกควบคุมให้หยุด . รับประกันความสม่ำเสมอของการหมุนและการวางตำแหน่งของแกน 1 และมีการขับเคลื่อนแป้นหมุน 15 เพื่อให้การหมุนที่แม่นยำสมบูรณ์

5) กลไกการซีลแบบโรตารี่ป้อนเข้าในกลไกการซีลของวิลสัน 5 ซึ่งไม่เพียงแต่ทำให้แน่ใจได้ว่ามอเตอร์ 9 ขับเคลื่อนการหมุนที่ยืดหยุ่นของเพลา 1 ผ่านการประกบเฟือง แต่ยังช่วยให้มั่นใจถึงผลการปิดผนึกของห้องสุญญากาศไปยัง ข้างนอก. การออกแบบที่เหมาะสมที่สุดสำหรับอุปกรณ์เปรียบเทียบแบบหลายชิปของเครื่องเคลือบสูญญากาศมีลักษณะดังต่อไปนี้: (1) โครงสร้างเรียบง่าย ความแข็งแรงสูง และความน่าเชื่อถือที่ดี (2) จำนวนชิปเปรียบเทียบมีขนาดใหญ่ ประสิทธิภาพการผลิตดีขึ้น และสามารถเคลือบเลนส์ออปติกที่มีความแม่นยำหลายชั้นได้ (3) เส้นผ่านศูนย์กลางของฟิล์มเปรียบเทียบเพิ่มขึ้น ความแม่นยำของการตรวจสอบฟิล์มดีขึ้น ข้อกำหนดสำหรับระบบฮาร์ดแวร์ลดลงและระบบง่ายต่อการควบคุมอัตโนมัติ (4) ค่าบำรุงรักษาต่ำ

ด้วยการออกแบบที่เหมาะสมที่สุดของอุปกรณ์เปรียบเทียบชิ้นส่วนหลายชิ้นของเครื่องเคลือบสูญญากาศ ทำให้มั่นใจได้ถึงความยืดหยุ่นของการหมุนของกลไกการเปรียบเทียบชิ้นและความสม่ำเสมอของการทำซ้ำ และพื้นที่ที่มีประสิทธิภาพขนาดเล็กของชิ้นเปรียบเทียบ การปรับที่ไม่สะดวกของ เส้นทางแสงและอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนของสัญญาณออปติคัลได้รับการแก้ไขแล้ว นอกจากนี้ยังแก้ปัญหาการโหลดแผ่นเปรียบเทียบน้อยลง ซึ่งสามารถปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มแสงที่เคลือบด้วยเครื่องเคลือบสูญญากาศที่มีอยู่ได้อย่างมาก และสามารถเคลือบฟิล์มแสงที่มีมากกว่า 30 ชั้นได้ การปฏิบัติได้พิสูจน์แล้วว่าโครงสร้างแผ่นเปรียบเทียบนี้มีประโยชน์และสามารถส่งเสริมและนำไปใช้ในอุตสาหกรรมการเคลือบสูญญากาศด้วยแสงที่ทันสมัย