เครื่องเคลือบสูญญากาศ ผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศ กระบวนการทำความสะอาดอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

ควรทำความสะอาดวัสดุสูญญากาศก่อนกระบวนการสูญญากาศของเครื่องเคลือบสูญญากาศเพื่อขจัดมลพิษออกจากพื้นผิวของชิ้นงานหรือวัสดุระบบ การทำความสะอาดพื้นผิวของชิ้นส่วนของเครื่องเคลือบโคมไฟก็เป็นสิ่งจำเป็นเช่นกัน เพราะไม่เพียงแต่แหล่งก๊าซและไอที่เกิดจากมลพิษเท่านั้น จะทำให้ระบบสุญญากาศไม่สามารถรับระดับสุญญากาศที่ต้องการได้ นอกจากนี้ เนื่องจากการมีอยู่ของสารปนเปื้อน มันจะส่งผลต่อความแข็งแรงและประสิทธิภาพการปิดผนึกของการเชื่อมต่อส่วนประกอบสุญญากาศ

สารมลพิษเครื่องเคลือบสูญญากาศสามารถกำหนดเป็น "สารหรือพลังงานที่ไร้ประโยชน์ชนิดใดก็ได้" เครื่องเคลือบไอออนแบบหลายอาร์คสามารถแบ่งออกเป็นของแข็ง ก๊าซ และของเหลวตามสถานะทางกายภาพของสารมลพิษ มีอยู่ในรูปของฟิล์มหรือเม็ด . ในแง่ของลักษณะทางเคมี มันสามารถอยู่ในสถานะไอออนิกหรือโควาเลนต์ และสามารถเป็นอนินทรีย์หรืออินทรีย์

พื้นผิวของเครื่องเคลือบสูญญากาศที่สัมผัสกับอากาศนั้นไวต่อการปนเปื้อนมากที่สุด มีหลายแหล่งที่มาของการปนเปื้อน การปนเปื้อนเริ่มต้นมักเป็นส่วนหนึ่งของกระบวนการสร้างพื้นผิวเอง ปรากฏการณ์การดูดซับ ปฏิกิริยาเคมี กระบวนการชะล้างและทำให้แห้ง การบำบัดทางกล และกระบวนการแพร่และแยกส่วนล้วนมีส่วนทำให้การปนเปื้อนบนพื้นผิวของส่วนประกอบต่างๆ เพิ่มขึ้น ประเภทของสารปนเปื้อนทั่วไปบนพื้นผิวของวัสดุสูญญากาศมีดังนี้

① จารบี: น้ำมันหล่อลื่น น้ำมันตัดกลึง จาระบีสูญญากาศ ฯลฯ ซึ่งปนเปื้อนระหว่างกระบวนการผลิต การประกอบ และการใช้งาน

②แบบน้ำ: เหงื่อออกที่มือขณะใช้งาน ไอน้ำขณะเป่า น้ำลาย ฯลฯ

③Surface oxide: พื้นผิวออกไซด์ที่เกิดจากวัสดุที่วางอยู่ในอากาศหรือวางไว้ในอากาศชื้นเป็นเวลานาน

④สารที่เป็นกรด ด่าง และเกลือ: สารตกค้างระหว่างการทำความสะอาด เหงื่อที่มือ แร่ธาตุในน้ำ ฯลฯ

⑤ขัดสิ่งตกค้างและฝุ่นละอองและอินทรียวัตถุอื่น ๆ ในอากาศแวดล้อม

ตามความต้องการ พื้นผิวที่ทำความสะอาดของเครื่องเคลือบสูญญากาศสามารถแบ่งออกเป็นสองประเภท: พื้นผิวที่สะอาดระดับอะตอมและพื้นผิวที่สะอาดของเทคโนโลยีกระบวนการ

งานทำความสะอาดในช่วงเริ่มต้นของเครื่องเคลือบสูญญากาศสามารถลดปัญหาได้มาก หลีกเลี่ยงการเกิดปัญหาเล็ก ๆ มากมายในเครื่องเคลือบสปัตเตอร์ควบคุมสปัตเตอร์ และมีผลในเชิงบวกมากต่อประสิทธิภาพการทำงานและคุณภาพการเคลือบ ของเครื่องเคลือบสูญญากาศ มันสามารถปรับปรุงความเสถียรในการทำงานของผนังถังและพื้นผิวส่วนประกอบอื่น ๆ ในระบบสุญญากาศได้อย่างมากภายใต้สภาพการทำงานที่หลากหลาย สภาพการทำงานเหล่านี้รวมถึง: อุณหภูมิสูง อุณหภูมิต่ำ และการปล่อยและการทิ้งระเบิดของอิเล็กตรอน ไอออน โฟตอน หรืออนุภาคหนัก